[发明专利]用于控制嵌段共聚物的纳米畴取向的方法在审
| 申请号： | 201880048320.0 | 申请日： | 2018-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN110945426A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | X.切瓦里尔 | 申请（专利权）人： | 阿科玛法国公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;詹承斌 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及用于控制嵌段共聚物(BPC)的纳米畴取向的方法，该嵌段共聚物的下界面与基材的经预先中性化的表面接触，由此，所述嵌段共聚物能够在最小厚度(e)上纳米结构化成具有给定周期(L |
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| 搜索关键词： | 用于 控制 共聚物 纳米 取向 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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