[发明专利]信息确定设备和方法在审
| 申请号： | 201880047900.8 | 申请日： | 2018-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN111095108A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 高安;桑雅辛格·拉尔巴哈朵尔辛;A·尼基帕罗夫;A·O·波利亚科夫;布伦南·彼得森 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L23/544 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 闫红 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开描述了一种用于确定与半导体器件衬底(110)中的至少一个目标对准标记(114)有关的信息的设备(160)。所述目标对准标记(114)最初至少部分被衬底(110)上的不透明的碳或金属层(120)遮挡。所述设备(160)包括能量传递系统(140)，所述能量传递系统(140)配置成发射激光束(132)，以使所述不透明层(120)的至少一部分(134)改性从而使得在所述至少一部分(134)中发生提高所述部分(134)的透明度的相变和/或化学变化。光学信号(136)能够传播通过被改性的部分(134)以确定与目标对准标记(114)有关的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 信息 确定 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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