[发明专利]颗粒抑制系统和方法有效
| 申请号： | 201880047710.6 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110892333B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 黄仰山;D·N·伯班克;M·K·斯达文哥 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司;ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 物体平台可以包括第一结构和相对于第一结构能够移动的第二结构。第二结构被配置为支撑物体。物体平台还包括能够移动地耦接到第一结构或第二结构、但不同时耦接到两者的密封板。并且所述物体平台包括至少一个致动器，其被配置成移动所述密封板，使得在所述密封板与所述第一结构或所述第二结构中未被耦接至所述密封板的一个之间限定一基本恒定的间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒 抑制 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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