[发明专利]偏振光照射装置在审
| 申请号： | 201880047529.5 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110892319A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 桥本和重;新井敏成 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 肖茂深 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明能够一次性地对大型的工件进行曝光处理。长度方向与对象物的搬运方向大致正交的第一灯及第二灯在搬运方向及作为与搬运方向大致正交的方向的正交方向上错开配置，在正交方向上，第一灯的第一端部与第二灯重叠，第二灯的第二端部与第一灯重叠。在俯视下，第一遮光部设置为与第一区域重叠，该第一区域为被来自第一灯的光照射的在正交方向上较长的带状的区域的一部分的，第二遮光部设置为与第二区域重叠，该第二其与为被来自第二灯的光照射的在正交方向上较长的带状的区域的一部分的，第一区域和第二区域在正交方向的位置大致相同。另外，第一遮光部的面积与第二遮光部的面积之和与第一区域及第二区域的面积大致相同。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振光 照射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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