[发明专利]在硅衬底上具有聚合物波导的光学互连模块

摘要

本申请公开了一种在硅衬底上的光学互连装置，该装置包括：具有彼此相对的两个倾斜侧壁的沟槽；在所述沟槽中形成的多个聚合物波导，每个聚合物波导包括垂直部分和在所述沟槽的倾斜侧壁上形成的两个端反射器；光源和光接收器，其布置在所述沟槽外部的硅表面上的绝缘层上。导线在所述绝缘层上光刻刻蚀，并连接到所述光源和所述光接收器。所述光源和所述光接收器分别与每个聚合物波导的所述两个端反射器对准，从而通过所述两个端反射器的反射形成从所述光源装置通过所述多个聚合物波导到所述光接收器装置的光路。本申请还公开了用于制造上述装置的方法。