[发明专利]全息干涉度量的方法及系统有效

专利信息
申请号: 201880045899.5 申请日: 2018-06-06
公开(公告)号: CN110914634B 公开(公告)日: 2022-02-18
发明(设计)人: 多夫·弗曼 申请(专利权)人: RD辛纳基有限公司
主分类号: G01B5/02 分类号: G01B5/02;G01B9/02;G01B9/021;G01B11/16;G01M11/02;G03H1/04
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽
地址: 以色列耐*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种全息干涉度量仪,包括:至少一个成像装置,捕获一干涉图案,所述干涉图案由至少两个光束创建;以及至少一个光圈,位于所述至少两个光束中的至少一个光束的一光学路径中;其中所述至少一个光圈位于远离所述至少一个光束的一轴线,因而透射所述至少一个光束在一角度范围被收集的一子集。
搜索关键词: 全息 干涉 度量 方法 系统
【主权项】:
暂无信息
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