[发明专利]全息干涉度量的方法及系统有效
申请号: | 201880045899.5 | 申请日: | 2018-06-06 |
公开(公告)号: | CN110914634B | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 多夫·弗曼 | 申请(专利权)人: | RD辛纳基有限公司 |
主分类号: | G01B5/02 | 分类号: | G01B5/02;G01B9/02;G01B9/021;G01B11/16;G01M11/02;G03H1/04 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 以色列耐*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种全息干涉度量仪,包括:至少一个成像装置,捕获一干涉图案,所述干涉图案由至少两个光束创建;以及至少一个光圈,位于所述至少两个光束中的至少一个光束的一光学路径中;其中所述至少一个光圈位于远离所述至少一个光束的一轴线,因而透射所述至少一个光束在一角度范围被收集的一子集。 | ||
搜索关键词: | 全息 干涉 度量 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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