[发明专利]全息干涉度量的方法及系统

权利要求书

1.一种没有参考镜体的全息干涉度量仪，其特征在于：包括：

至少一个成像装置，捕获一干涉图案，所述干涉图案由至少两个光束创建；及

至少两个光圈，每个光圈沿着所述至少两个光束中的一个光束的一光学路径位于与所述至少两个光束中的相应一个光束的一光学轴线相距的不同距离处，从而透射具有不同有效波数的所述至少两个光束中的所述相应一个光束的不同收集角度范围；

其中通过在所述至少两个光束的所述光学轴线之间具有一角度，所述至少两个光束中的每个到达所述至少一个成像装置中，以在所述至少一个成像装置上创建所述干涉图案。

2.根据权利要求1所述的全息干涉度量仪，其特征在于：所述全息干涉度量仪还包括：

至少一个分束器，将一原始光束分成所述至少两个光束。

3.根据权利要求2所述的全息干涉度量仪，其特征在于：所述分束器将反射自一主体结构的一光束分成所述至少两个光束。

4.根据权利要求3所述的全息干涉度量仪，其特征在于：所述全息干涉度量仪还包括单色相干的光源，所述单色相干的光源照射所述主体结构。

5.根据权利要求3所述的全息干涉度量仪，其特征在于：所述主体结构被环境光照射。

6.根据权利要求3所述的全息干涉度量仪，其特征在于：所述全息干涉度量仪还包括：

一透镜，位于沿着反射自所述主体结构的所述光束的一光学路径并生成一光圈平面；

其中所述分束器沿着所述原始光束的所述光学路径位于所述光圈平面之前方，因而将所述光圈平面分离。

7.根据权利要求6所述的全息干涉度量仪，其特征在于：所述至少两个光圈位于所述分离的光圈平面。

8.根据权利要求1所述的全息干涉度量仪，其特征在于：所述干涉图案被用于获得一主体结构的高度测量。

9.一种设定一没有参考镜体的全息干涉度量仪的方法，其特征在于：包括：

定位至少一个成像装置，所述成像装置用于捕获一干涉图案，所述干涉图案由至少两个光束创建；及

定位至少两个光圈，每个光圈沿着所述至少两个光束中的一个光束的一光学路径位于与所述至少两个光束中的相应一个光束的一光学轴线相距的不同距离处，从而透射具有不同有效波数的所述至少两个光束中的所述相应一个光束的不同收集角度范围；

其中所述至少两个光束中的每个以一不同角度干涉所述至少一个成像装置。