[发明专利]感测氟浓度的装置和方法有效
| 申请号： | 201880045530.4 | 申请日： | 2018-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN110869742B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | T·P·达菲 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N29/24;G01N21/31 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施例涉及用于测量在准分子激光器中使用的激光气体中的F2的浓度的装置和方法。在一个或多个实施例中，使用石英增强光声光谱法以仅使用少样品量快速地获取F2浓度的直接测量。 | ||
| 搜索关键词： | 感测氟 浓度 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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