[发明专利]用于基于成像的叠加及基于散射测量的叠加的混合叠加目标设计有效
| 申请号： | 201880040658.1 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110770654B | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | D·格瑞奥迪 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示用于包含具有基于成像的目标及基于散射测量的目标两者的目标区域的混合叠加目标设计的设计。所述基于成像的叠加目标设计可包含并排光栅结构。在所述目标区域中的不同位置处的基于散射测量的叠加目标设计可包含光栅叠光栅结构。本发明还揭示一种测量所述混合叠加目标设计的方法及一种具有用于测量所述混合叠加目标设计的成像光学系统及散射测量系统两者的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 成像 叠加 散射 测量 混合 目标 设计 | ||
【主权项】：
1.一种叠加目标，其包括：/n在单元中的基于成像的叠加目标设计，其包含并排光栅结构；及/n在所述单元中的不同位置处的基于散射测量的叠加目标设计，其包含光栅叠光栅结构，其中所述光栅叠光栅结构中的光栅相对于彼此偏移，且其中相较于所述基于成像的叠加目标设计，所述基于散射测量的叠加目标设计具有不同间距。/n
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