[发明专利]制造母板的方法和母板在审
| 申请号： | 201880038535.4 | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110998375A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | J·拉霍迈基;M·埃尔德马尼斯;I·瓦蒂亚宁 | 申请（专利权）人： | 迪斯帕列斯有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00;G02B27/44;B29D11/00;G02B27/00;G02B27/01 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈斌;蔡悦 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种制造用于制造衍射结构的母板的方法以及对应的母板。该方法包括：提供包括选择性蚀刻层(12A‑C、14A‑C)的堆叠(12)的基板(10)，并且在该基板(10)上提供蚀刻掩模层(16)。进一步，该方法包括：通过在掩模层(16)的不同掩模区(S1‑S5)处分段暴露基板(10)并使用所述选择性蚀刻层(12A‑C、14A‑C)来在多步骤蚀刻工艺中蚀刻该基板(10)，以向该基板(10)生成在横向维度上由掩模区限定且在高度维度上由该基板(10)的所述堆叠(12)限定的经高度调制的表面轮廓；以及最后在该表面轮廓上提供经高度调制的母光栅(18’)，该母光栅(18’)的高度调制至少部分地由该基板(10)的所述表面轮廓限定。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 母板 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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