[发明专利]与外涂覆的光致抗蚀剂一起使用的涂料组合物在审
| 申请号： | 201880038368.3 | 申请日： | 2018-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN111033381A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 李晶真;J-Y·安;B-K·顾;沈载桓;林载峰 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;C09D7/63;C08K5/43;C08K5/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 钱文宇;陈哲锋 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了有机涂料组合物，特别是与外涂覆的光致抗蚀剂一起使用的减反射涂料组合物，其包含1)一种或多种树脂和2)不同于1)一种或多种树脂的一种或多种PDQ化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 外涂覆 光致抗蚀剂 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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