[发明专利]含氟单体、含氟聚合物与使用其的图案形成用组合物、及其图案形成方法有效
| 申请号： | 201880037295.6 | 申请日： | 2018-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110730790B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 兼子让;板仓翼;滩野亮 | 申请（专利权）人： | 中央硝子株式会社 |
| 主分类号： | C08F20/22 | 分类号： | C08F20/22;C07D307/20;C07D307/24;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种赋予高灵敏度且高分辨率的图案的不含碳数4以上的全氟烷基的含氟聚合物，其是在与光产酸剂一起制成膜时，制膜后显示出拒水性，通过光照射而因酸成为亲水性的图案形成材料。本发明的含氟聚合物的特征在于含有式(1)所示的重复单元。(式中，R |
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| 搜索关键词： | 单体 聚合物 使用 图案 形成 组合 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种含氟聚合物，其含有式(1)所示的重复单元，/n
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