[发明专利]微粒数检测器在审
申请号: | 201880030938.4 | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN110612442A | 公开(公告)日: | 2019-12-24 |
发明(设计)人: | 菅野京一;奥村英正;水野和幸 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | G01N15/06 | 分类号: | G01N15/06;G01N27/60 |
代理公司: | 11432 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 王轶;李伟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 微粒数检测器10具备:电荷产生元件、捕集装置、以及个数测定装置。电荷产生元件向被导入至通气管12内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷,使其成为带电微粒。捕集装置利用通过电场产生部42而产生的电场,将带电微粒捕集于捕集电极48。个数测定装置基于根据捕集电极48所捕集到的带电微粒的数量而发生变化的捕集电极48的物理量,来检测带电微粒的数量。此处,通气管12具备:由陶瓷材料构成的致密质的骨架形成部13(13a~13d)、以及由杨氏模量比陶瓷材料的杨氏模量低的材料构成且与骨架形成部13接触的致密质的应力缓和部14(14a~14d)。 | ||
搜索关键词: | 带电微粒 集电极 致密 骨架形成部 捕集装置 测定装置 电荷产生 陶瓷材料 杨氏模量 通气管 捕集 物理量 检测器 电场产生部 应力缓和部 电场 电荷 微粒数 放电 检测 | ||
【主权项】:
1.一种微粒数检测器,其中,具备:/n电荷产生元件,该电荷产生元件向被导入至通气管内的气体中的微粒附加通过放电而产生的电荷,使其成为带电微粒;/n带电微粒捕集部,该带电微粒捕集部设置于比所述电荷产生元件更靠向所述气体的气流下游侧的位置,对所述带电微粒进行捕集;以及/n个数检测部,该个数检测部基于根据所述带电微粒捕集部所捕集到的所述带电微粒的数量而发生变化的所述带电微粒捕集部的物理量,来检测所述带电微粒的数量,/n所述通气管具备:由陶瓷材料构成的致密质的骨架形成部、以及由杨氏模量比所述陶瓷材料的杨氏模量低的材料构成且与所述骨架形成部接触的致密质的应力缓和部。/n
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