[发明专利]用于确定蒸汽的浓度的装置和方法在审
| 申请号： | 201880029160.5 | 申请日： | 2018-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN110603443A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | A.奥弗曼斯;R.B.J.奥利格施莱格 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | G01N29/036 | 分类号： | G01N29/036;C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 孟婧 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定容积(2)中的蒸汽的分压或者浓度的装置，所述装置具有能够振荡的、能够调节至蒸汽的冷凝温度以下的温度的传感器体(5)，所述传感器体的振荡频率被传感器表面(6)上由冷凝的蒸汽形成的质量累积影响，其中，设置有用于产生从传感器表面(6)穿过与通向容积(2)的窗口(3)邻接的蒸汽运输通道(20)朝容积(2)的方向的气体流的器件。为了在工艺流程方面改进所述装置并且尤其提高传感器体的最大使用寿命，本发明建议，用于产生气体流的器件具有构造为环形通道(16)的宽缝隙式喷嘴。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器体 蒸汽 传感器表面 气体流 冷凝 环形通道 使用寿命 运输通道 振荡频率 蒸汽形成 喷嘴 工艺流程 宽缝隙 邻接 振荡 分压 穿过 改进 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定容积(2)中的蒸汽的分压或者浓度的装置，所述装置具有能够振荡的、能够调节至蒸汽的冷凝温度以下的温度的传感器体(5)，所述传感器体的振荡频率受到传感器表面(6)上由冷凝的蒸汽形成的质量累积的影响，其中，设置有用于产生从传感器表面(6)穿过与通向容积(2)的窗口(3)邻接的蒸汽运输通道(20)朝容积(2)的方向的气体流的器件，其特征在于，用于产生气体流的器件具有构造为环形通道(16)的宽缝隙式喷嘴。/n
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