[发明专利]用于确定蒸汽的浓度的装置和方法

权利要求书

1.一种用于确定容积(2)中的蒸汽的分压或者浓度的装置，所述装置具有能够振荡的、能够调节至蒸汽的冷凝温度以下的温度的传感器体(5)，所述传感器体的振荡频率受到传感器表面(6)上由冷凝的蒸汽形成的质量累积的影响，其中，设置有用于产生从传感器表面(6)穿过与通向容积(2)的窗口(3)邻接的蒸汽运输通道(20)朝容积(2)的方向的气体流的器件，其特征在于，用于产生气体流的器件具有构造为环形通道(16)的宽缝隙式喷嘴。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，用于产生气体流的器件紧邻所述传感器体(5)地设置。

3.一种用于确定容积(2)中的蒸汽的分压或者浓度的装置，所述装置具有能够振荡的、能够调节至蒸汽的冷凝温度以下的温度的传感器体(5)，所述传感器体的振荡频率受到传感器表面(6)上由冷凝的蒸汽形成的质量累积的影响，其中，设置有用于产生从传感器表面(6)穿过与通向容积(2)的窗口(3)邻接的蒸汽运输通道(20)朝容积(2)的方向的气体流的器件，其特征在于，所述蒸汽运输通道(20)被管接头(17)包围，所述管接头以一个端部连接在窗口(3)上并且以管接头的另一个端部通过缝隙与传感器表面(6)相间隔，其中，所述缝隙构成用于使气体流馈入蒸汽运输通道(20)中的流动通道(16)。

4.根据前述权利要求之一所述的装置，其特征在于，所述容积(2)由蒸汽运输管路(1)形成，运输蒸汽的载气能够流动通过所述蒸汽运输管路(1)。

5.根据前述权利要求之一所述的装置，其特征在于，所述容积(2)由涂层装置的过程室形成。

6.一种用于通过能够振荡的传感器体(5)确定容积(2)中的蒸汽的分压或者浓度的方法，其中，所述传感器体(5)的温度能够调节至蒸汽的冷凝温度以下，其中，蒸汽沿着运输方向(T)到达传感器表面(6)，以便在那里在构成质量累积的情况下对传感器体(5)的振荡频率产生影响地在传感器表面(6)上冷凝，其中，产生与运输方向(T)相反指向的气体流，所述气体流通过蒸汽运输通道(20)进入容积(2)中，其特征在于，所述气体流从传感器表面(6)的边缘朝所述传感器表面(6)的中心的方向馈入。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述气体流通过处于限定蒸汽运输通道(20)的管接头(17)的边缘和传感器表面(6)的边缘之间的缝隙馈入。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，所述容积(2)由蒸汽运输管路(1)构成，蒸汽借助载气运输通过所述蒸汽运输管路。

9.根据权利要求6至8之一所述的方法，其特征在于，通过气体流产生气体流动，所述气体流动与蒸汽通过蒸汽运输通道(20)的扩散相反地指向，其中，通过调节气体流的流动速度调整通过蒸汽运输通道(20)流向传感器表面(6)的蒸汽的平均运输速度。

10.一种装置和方法，其特征在于前述权利要求之一所述的一个或者多个区别特征。