[发明专利]通过选择性模板移除来进行微米和纳米制造的方法有效
| 申请号： | 201880028265.9 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN110891895B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 莫赛·凯沙瓦兹阿卡拉基;克林顿·兰德洛克 | 申请（专利权）人： | 纳米技术安全集团 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B1/00;B82Y30/00;B42D25/36;B42D25/40;G02B5/30;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 | 代理人： | 景全斌;唐曙晖 |
| 地址： | 加拿大不列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种移除薄膜材料的、否则会均匀地沉积在一模板上的选定部分的方法。该方法依赖于一适当的灌封材料来封装并移除沉积在所述模板顶点上的材料。该方法可在单个处理步骤中产生一个和/或两个器件：(i)具有由模板顶点形状限定的微米孔和/或纳米孔的薄膜材料，以及(ii)通过模板顶点的设计而成形和定位在灌封材料中的微米和/或纳米颗粒。用这种方法制成的器件可以应用于机械、化学、电气和光学器件的制造中。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 选择性 模板 进行 微米 纳米 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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