[发明专利]真空泵、装备于真空泵的磁轴承部及轴杆

摘要

实现使真空泵的总高变低的真空泵、装备于真空泵的磁轴承部及轴杆。在本实施方式中，在5轴控制磁轴承的轴杆侧下方，从吸气口侧向排气口侧成为下侧Ra传感器检测对象件（29）、第4间隔件（28）及Ra电磁铁吸引对象件（27）这一构成顺序。同时，在定子侧下方，从吸气口方向向排气口方向依次成为下侧Ra传感器（10）、下侧Ra电磁铁（9）这一构成顺序。即，成为下侧Ra传感器（10）被配设在下侧Ra电磁铁（9）的上侧的结构。借助该结构，由于能够使固定于下侧Ra传感器检测对象件（29）之上的第3间隔件（26）变短，所以能够使轴杆的长度（S）变短。结果，能够使5轴控制磁轴承的高度（M）及将构成5轴控制磁轴承的电装部内包的定子柱变低，所以能够使真空泵的总高（T）变低。

主权项

1.一种真空泵，/n具备：/n外装体，形成有吸气口和排气口；/n轴杆，被内包于所述外装体；/n磁轴承部，由固定在所述轴杆的规定的位置的径向电磁铁吸引对象件及与该径向电磁铁吸引对象件隔开规定的间隙而对置的径向电磁铁、以及固定在所述轴杆的规定的位置的径向传感器检测对象件及与该径向传感器检测对象件隔开规定的间隙而对置的径向传感器构成，将所述轴杆旋转自如地支承；/n马达，由固定在所述轴杆的规定的位置的轴杆侧马达部及与该轴杆侧马达部隔开规定的间隙而对置的外装体侧马达部构成，使所述轴杆旋转；以及/n旋转部，配设在所述轴杆，与该轴杆一起借助所述马达而旋转；/n通过使所述旋转部高速旋转，将从所述吸气口吸入的气体向所述排气口移送；/n其特征在于，/n在所述磁轴承部中的比配设所述轴杆侧马达部的位置靠所述排气口侧，从所述轴杆的所述吸气口侧到所述排气口侧，依次配设有所述径向传感器检测对象件、所述径向电磁铁吸引对象件。/n