[发明专利]用于以层特定照明光谱的计量的系统及方法有效
| 申请号： | 201880023805.4 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN110494966B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | A·玛纳森;D·内格里;A·V·希尔;O·巴沙尔;V·莱温斯基;Y·帕斯卡维尔 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种计量系统，其包含图像装置及控制器。所述图像装置包含光谱可调照明装置及检测器，所述检测器用于基于响应于来自所述光谱可调照明装置的照明而从所述样本发出的辐射产生具有两个或两个以上样本层上的计量目标元件的样本的图像。所述控制器确定所述成像装置的层特定成像配置以在所选择的图像质量容限内成像所述两个或两个以上样本层上的所述计量目标元件，其中每一层特定成像配置包含来自所述光谱可调照明装置的照明光谱。所述控制器进一步接收使用所述层特定成像配置产生的所述两个或两个以上样本层上的所述计量目标元件的一或多个图像。所述控制器进一步基于所述两个或两个以上样本层上的所述计量目标元件的所述一或多个图像提供计量测量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 特定 照明 光谱 计量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种计量系统，其包括：/n成像装置，其包含：/n光谱可调照明装置；及/n检测器，其用于基于响应于来自所述光谱可调照明装置的照明而从样本发出的辐射产生所述样本的图像，所述样本包含两个或两个以上样本层上的计量目标元件；及/n控制器，其可通信地耦合到所述成像装置，所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令经配置以使所述一或多个处理器：/n确定所述成像装置的层特定成像配置以在所选择的图像质量容限内成像所述两个或两个以上样本层上的所述计量目标元件，其中每一层特定成像配置包含来自所述光谱可调照明装置的照明光谱；/n从所述成像装置接收使用所述层特定成像配置产生的所述两个或两个以上样本层上的所述计量目标元件的所述一或多个图像；及/n基于所述两个或两个以上样本层上的所述计量目标元件的所述一或多个图像提供计量测量。/n
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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