[发明专利]双阀流体致动器组件有效
| 申请号： | 201880019603.2 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN110914554B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 永俊·崔;佰学·杨;李树平;高瑞夫·盖斯瓦尼;迪康·麦;潘家田 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | F15B9/00 | 分类号： | F15B9/00;F15B9/08;F15B11/00;F15B11/028 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种载台组件(10)，其包括载台(14)，及使该载台(14)移动的流体致动器组件(24)。该流体致动器组件(24)包括：活塞壳体(32)，其界定活塞腔室(34)；(ii)活塞(36)，其将该活塞腔室(34)分成第一腔室(34A)及第二腔室(34B)；(iii)供应阀(38C)，其控制工作流体(40)进入该第一腔室(34A)的流动；及(iv)排出阀(38D)，其控制该工作流体(40)离开该第一腔室(34A)的流动。该供应阀(38C)具有具供应孔口面积的供应孔口(250G)，且该排出阀(38D)具有具排出孔口面积的排出孔口(352G)。此外，该供应孔口面积不同于该排出孔口面积。不同大小的其他多个阀可组合地使用以用于每一腔室(34A)、(34B)的供应及排出。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 致动器 组件 | ||
【主权项】：
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