[发明专利]具有硅纳米结构的片上超级电容器有效
申请号: | 201880016550.9 | 申请日: | 2018-03-06 |
公开(公告)号: | CN110462773B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 陈旭源;吕派;佩尔·阿尔弗雷德·厄尔克斯 | 申请(专利权)人: | 挪威东南大学 |
主分类号: | H01G11/26 | 分类号: | H01G11/26;H01G11/46;H01G11/02;H01G11/70;H01G11/86;H01G11/68;H01G11/28 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 杨明钊;张瑞 |
地址: | 挪威康*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
一种片上超级电容器,具有包括一维的硅(Si)纳米结构(3)的电极,所述一维的硅(Si)纳米结构(3)涂覆有氮化钛(TiN)的第一层(10)。所述片上超级电容器还包括沉积在第一层上的二氧化锰(MnO |
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搜索关键词: | 具有 纳米 结构 超级 电容器 | ||
【主权项】:
1.一种片上超级电容器,具有包括一维的硅(Si)纳米结构(3)的电极,所述一维的硅(Si)纳米结构(3)涂覆有氮化钛(TiN)的第一层(10),其特征在于,所述片上超级电容器还包括沉积在所述第一层上的二氧化锰(MnO2)的第二层(20)。/n
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