[发明专利]具有硅纳米结构的片上超级电容器有效

专利信息
申请号: 201880016550.9 申请日: 2018-03-06
公开(公告)号: CN110462773B 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 陈旭源;吕派;佩尔·阿尔弗雷德·厄尔克斯 申请(专利权)人: 挪威东南大学
主分类号: H01G11/26 分类号: H01G11/26;H01G11/46;H01G11/02;H01G11/70;H01G11/86;H01G11/68;H01G11/28
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 杨明钊;张瑞
地址: 挪威康*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种片上超级电容器,具有包括一维的硅(Si)纳米结构(3)的电极,所述一维的硅(Si)纳米结构(3)涂覆有氮化钛(TiN)的第一层(10)。所述片上超级电容器还包括沉积在第一层上的二氧化锰(MnO2)的第二层(20)。还公开了一种相关的方法。
搜索关键词: 具有 纳米 结构 超级 电容器
【主权项】:
1.一种片上超级电容器,具有包括一维的硅(Si)纳米结构(3)的电极,所述一维的硅(Si)纳米结构(3)涂覆有氮化钛(TiN)的第一层(10),其特征在于,所述片上超级电容器还包括沉积在所述第一层上的二氧化锰(MnO2)的第二层(20)。/n
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