[发明专利]低波前误差压电致动光学元件有效
| 申请号： | 201880013930.7 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN110418984B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 弗拉基米尔·卡尔塔晓夫;皮埃尔·克雷恩 | 申请（专利权）人： | 珀莱特股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/14 | 分类号： | G02B3/14;G02B26/08;H01L41/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王小衡;王天鹏 |
| 地址： | 挪威*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出了一种光学元件(100、500、600、700)，包括：支撑结构(101、501)，其具有侧壁(112、512)；可弯曲盖构件(102、502、702)，其附接到侧壁(112、512)；一个或多个压电致动器(103、104、105)，其布置成将所述可弯曲盖构件(102、502、702)成形为所期形状，其中所述光学元件(100、500、600、700)包括具有光轴(110、510)的光学活性区域(111、511)，其中如在与光轴(110、510)平行的方向上观察到的一个或多个压电致动器(103、104、105)的外边缘(215A‑E)限定第一线，并且如在与光轴(110、510)平行的方向上观察到的支撑结构(101、501)和可弯曲盖构件(102、502、702)之间的接口处的支撑结构(101、501)的内边缘(109)限定第二线，其中如在与光轴(110、510)平行的方向上观察到的第一线和第二线在两个或多个位置相互交叉和/或在一个或多个位置平行且重合。 | ||
| 搜索关键词： | 低波前 误差 压电 光学 元件 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件(100、500、600、700)，包括：‑支撑结构(101、501)，其具有侧壁(112、512)，‑可弯曲盖构件(102、502、702)，其附接到ο所述侧壁(112、512)，‑一个或多个压电致动器(103、104、105)，其布置成将所述可弯曲盖构件(102、502、702)成形为所期形状，其中所述一个或多个压电致动器(103、104、105)包括压电材料(104)和所述压电材料上方和/或下方的电极层(103、105)，其中所述光学元件(100、500、600、700)包括具有光轴(110、510)的光学活性区域(111、511)，其中‑所述一个或多个压电致动器形成完全包围所述光轴的闭合线，并且如在与所述光轴(110、510)平行的方向上观察到的一个或多个压电致动器(103、104、105)的外边缘(215A‑E)限定了第一线，其中所述外边缘是闭合线，其对应于所述一个或多个压电致动器的背离所述光轴的边缘，并且‑如在与所述光轴(110、510)平行的方向上观察到的所述支撑结构(101、501)与所述可弯曲盖构件(102、502、702)之间的接口处的支撑结构(101、501)的内边缘(109)限定了第二线，其中，如在与所述光轴(110、510)平行的方向上观察到的第一线和第二线‑在两个或多个位置相互交叉，和/或‑在一个或多个位置平行且重合。
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