[发明专利]清洗方法有效
| 申请号： | 201880011657.4 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN110268503B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | M.扎拉卡;M.斯特拉希尔 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C16/44;F04C29/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 代易宁;谭祐祥 |
| 地址： | 捷克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于清洗供在超高真空中使用的部件的方法。该方法可包括以下步骤：将待清洗部件置于真空炉室中；在大于约80℃的温度下等离子体清洗该部件；以及将室排空到小于约10E‑5 mbar的压力。还提供了用于执行此类方法的设备和包括所述部件的套件。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洗供在超高真空中使用的部件的方法，所述方法包括以下步骤：a)将待清洗部件置于真空炉室中；b)在大于约80℃、优选地从约80℃到约125℃的温度下等离子体清洗所述部件；以及c)将所述真空炉室排空到小于约10E‑5 mbar、优选地小于约10E‑06 mbar的压力。
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