[发明专利]等离子体产生装置有效
| 申请号： | 201880004923.0 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN110050324B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李孝昶;金贞衡;成大鎭 | 申请（专利权）人： | 韩国标准科学研究院 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 王新春;曹正建 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明实施方案的等离子体产生装置包括等离子体产生单元。所述等离子体产生单元具有球形或椭圆形空腔。所述等离子体产生单元通过接收RF功率使电子反弹和共振而在所述空腔中产生等离子体。所述空腔包括等离子体引出孔，使得所述空腔与外部空间连通。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体产生装置，包括等离子体产生单元，其中所述等离子体产生单元具有球形或椭圆形空腔，所述等离子体产生单元接收RF功率，以进行电子的反弹共振，从而在所述空腔中产生等离子体，并且所述空腔具有等离子体引出孔，以与外部空间连通。
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