[发明专利]晶片用基座

摘要

本发明提供晶片用基座。对于绝缘管(30)而言，绝缘管(30)的抵接面(34a)与冷却板(20)的制动面(27a)抵碰。由此，阻止绝缘管(30)继续向螺孔(26)进入，绝缘管(30)的环状突起部(33)的前端面(33a)定位在不与板(12)接触的预定位置，并且O型圈(40)在绝缘管(30)的阶梯差面(32a)与平板(12)的下表面之间被加压而变形预定量。

主权项

1.一种晶片用基座，其特征在于，具备：陶瓷制的平板，其能够吸附晶片；导电性部件，其安装于所述平板的与载置所述晶片的面相反一侧的面；贯通孔，其贯通所述平板和所述导电性部件；螺孔，其设置于所述贯通孔中的贯通所述导电性部件的导电性部件贯通部分；制动面，其设置于所述导电性部件，并与所述螺孔的中心轴交叉；绝缘管，其具有与所述制动面抵接的抵接面，并与所述螺孔螺纹连接；以及绝缘性的密封部件，其插通于呈突起状设置在所述绝缘管的平板对置面的密封部件支撑部，并配置于所述绝缘管的平板对置面与所述平板之间，对于所述绝缘管而言，通过使所述绝缘管的所述抵接面与所述导电性部件的所述制动面抵碰，从而阻止所述绝缘管继续向所述螺孔进入，所述绝缘管的所述密封部件支撑部的前端面定位在不与所述平板接触的预定位置，并且所述密封部件在所述绝缘管的所述平板对置面与所述平板之间被加压。