[实用新型]打标盘机构有效

专利信息
申请号: 201822276911.3 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN209736845U 公开(公告)日: 2019-12-06
发明(设计)人: 范聚吉;许冬;林广满 申请(专利权)人: 深圳市深科达半导体科技有限公司
主分类号: B23K26/36 分类号: B23K26/36;B23K26/70
代理公司: 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人: 李艳丽<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 518000 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及半导体器件制造的技术领域,提供了一种打标盘机构,包括固定座、转动主轴、主轴驱动件、配气盘、转盘以及八个吸嘴构件;转动主轴穿设于固定座,主轴驱动件能够使转动主轴转动;配气盘具有沿其整个周向呈等间距布置一个第一工位和七个第二工位;转盘与配气盘密封相接,吸嘴构件分别固定在转盘上且绕转动主轴等角度地间隔开,转盘具有与八个吸嘴构件分别对应的八个导气通道,配气盘上形成有导气孔和导气槽。与现有技术对比,本实用新型提供的打标盘机构,可使用的工位较多,使得转盘工位能够得到充分的利用,半导体器件在各工位之间的运转仅需转盘旋转45度即可切换至下一工位,转动幅度得到了缩减,生产速率得到了提高。
搜索关键词: 工位 转动主轴 配气盘 转盘 吸嘴 本实用新型 主轴驱动件 固定座 打标 半导体器件制造 半导体器件 等间距布置 导气通道 技术对比 密封相接 转动幅度 转盘工位 转盘旋转 导气槽 导气孔 穿设 转动 运转 生产
【主权项】:
1.一种打标盘机构,其特征在于,包括:/n固定座;/n转动主轴,穿设于所述固定座;/n主轴驱动件,使所述转动主轴相对于所述固定座转动;/n配气盘,固定于所述固定座并套设在所述转动主轴外侧,所述配气盘具有沿其整个周向呈等间距布置的八个工位,八个所述工位分为一个第一工位和七个第二工位;/n转盘,与所述转动主轴同轴设置并连接固定,且所述转盘与所述配气盘密封相接;/n八个吸嘴构件,分别固定在所述转盘上且绕所述转动主轴等角度地间隔开;/n所述转盘具有与八个所述吸嘴构件分别对应的八个导气通道;/n所述配气盘上形成有用于与位于所述第一工位上的所述导气通道连通的导气孔和用于与位于所述第二工位上的所述导气通道连通的导气槽。/n
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