[实用新型]打标盘机构有效
申请号: | 201822276911.3 | 申请日: | 2018-12-29 |
公开(公告)号: | CN209736845U | 公开(公告)日: | 2019-12-06 |
发明(设计)人: | 范聚吉;许冬;林广满 | 申请(专利权)人: | 深圳市深科达半导体科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/36 | 分类号: | B23K26/36;B23K26/70 |
代理公司: | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李艳丽<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工位 转动主轴 配气盘 转盘 吸嘴 本实用新型 主轴驱动件 固定座 打标 半导体器件制造 半导体器件 等间距布置 导气通道 技术对比 密封相接 转动幅度 转盘工位 转盘旋转 导气槽 导气孔 穿设 转动 运转 生产 | ||
1.一种打标盘机构,其特征在于,包括:
固定座;
转动主轴,穿设于所述固定座;
主轴驱动件,使所述转动主轴相对于所述固定座转动;
配气盘,固定于所述固定座并套设在所述转动主轴外侧,所述配气盘具有沿其整个周向呈等间距布置的八个工位,八个所述工位分为一个第一工位和七个第二工位;
转盘,与所述转动主轴同轴设置并连接固定,且所述转盘与所述配气盘密封相接;
八个吸嘴构件,分别固定在所述转盘上且绕所述转动主轴等角度地间隔开;
所述转盘具有与八个所述吸嘴构件分别对应的八个导气通道;
所述配气盘上形成有用于与位于所述第一工位上的所述导气通道连通的导气孔和用于与位于所述第二工位上的所述导气通道连通的导气槽。
2.根据权利要求1所述的打标盘机构,其特征在于,所述导气槽沿所述配气盘的周向延伸。
3.根据权利要求1所述的打标盘机构,其特征在于,所述固定座上设置有用于连接第一抽气装置的第一接头和用于连接第二抽气装置的第二接头;所述固定座具有连通所述第一接头与所述导气孔的第一通槽,以及连通所述第二接头与所述导气槽的第二通槽。
4.根据权利要求3所述的打标盘机构,其特征在于,所述固定座为矩形,所述第一接头的数量为一个,所述第二接头的数量为三个,所述第一接头和所述第二接头分别位于所述固定座的每一侧壁上。
5.根据权利要求1所述的打标盘机构,其特征在于,所述吸嘴构件与所述转盘之间采用可拆除地方式相连。
6.根据权利要求1所述的打标盘机构,其特征在于,所述转动主轴通过主轴螺钉与所述转盘连接固定,所述主轴螺钉与所述转盘之间设置有垫片。
7.根据权利要求1所述的打标盘机构,其特征在于,还包括底座以及分别与所述底座和所述固定座相连的电机座,所述主轴驱动件固定在所述电机座上。
8.根据权利要求7所述的打标盘机构,其特征在于,所述主轴驱动件具有一驱动轴,所述转动主轴具有一端开口且供所述驱动轴置入的内腔,所述转动主轴的外侧套设有轴夹块,用将所述转动主轴夹设于所述驱动轴上。
9.根据权利要求7所述的打标盘机构,其特征在于,所述电机座包括相互连接的竖直部分和倾斜部分,所述竖直部分与所述底座相连,且二者之间能够相对升降运动;所述倾斜部分与所述固定座相连,所述主轴驱动件安装在所述倾斜部分上。
10.根据权利要求7所述的打标盘机构,其特征在于,所述电机座上设置有导向柱,所述固定座上设置有与所述导向柱配合导向的直线轴承,所述电机座与所述固定座之间设置有弹性构件。
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