[实用新型]一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置有效
| 申请号： | 201822275360.9 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209247324U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 张斌 | 申请（专利权）人： | 茂莱(南京)仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李倩 |
| 地址： | 211102 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置，包括激光干涉仪、调整装置和光学系统，所述光学系统将激光干涉仪发出的激光分成参考光和测试光两路激光，两路激光形成干涉光由激光干涉仪接收进行检测；所述调整装置对光学系统的角度和水平距离进行调整。本实用新型能够满足对被测物镜的波前检测，采用高精度的激光干涉仪对干涉图像进行检测，干涉仪的测量过程简单可控，可获得高重复性和高精度的测量结果。调整装置可对检测时的被测物镜进行轴向和角度调整，可实现一套系统对轴上和轴外的分别测试，测试条件灵活切换，提高了测试的灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 激光干涉仪 调整装置 光学系统 检测 本实用新型 激光 激光干涉 检测装置 显微物镜 透射波 两路 物镜 测试 测量过程 测试条件 干涉图像 高重复性 角度调整 水平距离 参考光 测试光 干涉光 可控 轴向 干涉 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种基于激光干涉仪的显微物镜透射波前检测装置，其特征在于：包括激光干涉仪、调整装置和光学系统，所述光学系统将激光干涉仪发出的激光分成参考光和测试光两路激光，两路激光形成干涉光由激光干涉仪接收进行检测；所述调整装置对光学系统的角度和水平距离进行调整。
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