[实用新型]一种软X射线光源有效
| 申请号： | 201822258974.6 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209659696U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 刘炜;郑睿;谢庆国;肖鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞派宁科技有限公司 |
| 主分类号： | H05G1/02 | 分类号： | H05G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种软X射线光源，包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，制冷腔和喷嘴容置于真空靶室内，喷嘴设置于制冷腔上，支撑板设置于真空靶室上，支撑板上设置有穿过支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，制冷剂入口管道和制冷剂出口管道分别与制冷腔连通，工作气体管道穿过制冷腔并与喷嘴连接；三维位移机构包括第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器，第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器均设置于支撑板与真空靶室之间并分别控制支撑板沿相互垂直的三个方向移动。本申请可以实现在X、Y、Z三轴方向上调节喷嘴位置，提高软X射线的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 位移调节器 支撑板 制冷腔 喷嘴 真空靶室 制冷剂出口管道 工作气体管道 制冷剂入口 软X射线光源 穿过 方向移动 喷嘴位置 三维位移 软X射线 垂直的 三轴 申请 连通 室内 | ||
【主权项】：
1.一种软X射线光源，所述软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，所述制冷腔和所述喷嘴容置于所述真空靶室内，所述喷嘴设置于所述制冷腔上，其特征在于，/n一支撑板设置于所述真空靶室上，所述支撑板上设置有穿过所述支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，所述制冷剂入口管道和所述制冷剂出口管道分别与所述制冷腔连通，所述工作气体管道穿过所述制冷腔并与所述喷嘴连接；/n所述软X射线光源还包括三维位移机构，所述三维位移机构设置于所述支撑板与所述真空靶室之间，所述三维位移机构包括第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器，所述第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器均设置于所述支撑板与所述真空靶室之间并分别控制所述支撑板沿相互垂直的三个方向移动。/n
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