[实用新型]一种纳米连接装置有效
| 申请号： | 201822256318.2 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209853723U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 杨立军;王根旺;王扬;侯超剑;丁烨;赵春洋 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 11473 北京隆源天恒知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 闫冬;鞠永帅 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙;23 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种纳米连接装置，涉及加工制造技术领域。本实用新型所述纳米连接装置，包括真空腔、近场光发生装置、电子束发射及调控模块、电子束物镜、纳米操作装置和控制装置；所述纳米操作装置包括样品台和执行端操作装置，所述纳米操作装置设置于所述真空腔内部，所述近场光发生装置包括激光发射装置和执行端，所述执行端设置于所述真空腔内部且可拆卸安装于所述执行端操作装置上，所述电子束发射及调控模块与所述电子束物镜相连接，所述近场光发生装置、所述电子束发射及调控模块、所述纳米操作装置分别与所述控制装置相连接。本实用新型不需要移出样品，通过所述样品台配合所述执行端操作装置，所述样品的操作灵活度更佳，从而提高纳米连接的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米操作装置 本实用新型 电子束发射 操作装置 调控模块 发生装置 近场光 电子束 真空腔内部 控制装置 连接装置 样品台 物镜 激光发射装置 加工制造技术 可拆卸安装 灵活度 真空腔 移出 配合 | ||
【主权项】：
1.一种纳米连接装置，其特征在于，包括真空腔(101)、近场光发生装置、电子束发射及调控模块(102)、电子束物镜(103)、纳米操作装置和控制装置(107)；所述纳米操作装置包括样品台和执行端操作装置，所述纳米操作装置设置于所述真空腔(101)内部，所述近场光发生装置包括激光发射装置和执行端，所述执行端设置于所述真空腔(101)内部且可拆卸安装于所述执行端操作装置上，所述电子束发射及调控模块(102)与所述电子束物镜(103)相连接，所述近场光发生装置、所述电子束发射及调控模块(102)、所述纳米操作装置分别与所述控制装置(107)相连接。/n
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