[实用新型]一种耐高压测试探针台有效
| 申请号： | 201822251951.2 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN209417104U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 邓鹏 | 申请（专利权）人： | 乐山嘉洋科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 邓小兵 |
| 地址： | 614000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种耐高压测试探针台，包括设主机、承片台、显示屏、扫描物镜、测试机以及电气控制系统的机架，显示屏、扫描物镜和测试机均连接主机，承片台上设真空吸附装置，测试机的移动探针座设于机架上，移动探针座上设测试探针，真空吸附装置和移动探针座均通过电气控制系统连接主机，所述测试机为3KV高压测试机；在所述机架上设有机玻璃防护罩，承片台、扫描物镜、测试探针、移动探针座均设于有机玻璃防护罩内，在该有机玻璃防护罩内的机架上设连接外部气源的氮气管接口，氮气管接口的开关阀连接电气控制系统。实现了测试机从反向电压1800V到反向电压2500V的测试突破，具有良好的测试环境，高压测试稳定和精确。 | ||
| 搜索关键词： | 测试机 移动探针 有机玻璃防护罩 电气控制系统 扫描物镜 主机 真空吸附装置 氮气管接口 耐高压测试 测试探针 反向电压 承片台 显示屏 高压测试机 测试环境 高压测试 外部气源 开关阀 探针台 承片 探针 测试 | ||
【主权项】：
1.一种耐高压测试探针台，包括设电脑主机（1）、承片台（2）、显示屏（3）、扫描物镜（4）、测试主机（5）以及电气控制系统的机架（14），显示屏（3）、扫描物镜（4）和测试主机（5）均连接电脑主机（1），承片台（2）上设真空吸附装置，测试主机（5）的移动探针座（6）设于机架（14）上，移动探针座（6）上设测试探针（7），真空吸附装置和移动探针座（6）均通过电气控制系统连接电脑主机（1），其特征在于：所述测试主机（5）为3KV高压测试机；在所述机架（14）上设有机玻璃防护罩（8），承片台（2）、扫描物镜（4）、测试探针（7）、移动探针座（6）均设于有机玻璃防护罩（8）内，在该有机玻璃防护罩（8）内的机架（14）上设连接外部气源的氮气管接口，氮气管接口的开关阀连接电气控制系统。
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