[实用新型]一种固定装置和加工设备

摘要

本实用新型提供一种固定装置和加工设备。该固定装置包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，真空吸附单元包括抽真空结构和设置在抽真空结构上的承载部，承载部用于承载基片；抽真空结构包括轴体和套设在轴体上的环体，抽真空结构中开设有第一抽真空通道，轴体能绕其轴线在环体内自转，以开启或关闭第一抽真空通道；承载部中开设有第二抽真空通道，第一抽真空通道和第二抽真空通道贯通，能对基片进行吸附固定。该固定装置能实现一个真空吸附单元独立地对一个基片进行吸附固定，从而使真空吸附时的真空泄漏量变得很小，进而确保每个真空吸附单元都能对基片进行牢固的吸附固定，实现对多片待加工基片的吸附固定更加牢固可靠。

主权项

1.一种固定装置，其特征在于，包括用于对待加工基片进行一对一吸附固定的真空吸附单元，所述真空吸附单元包括抽真空结构和设置在所述抽真空结构上的承载部，所述承载部用于承载所述基片；所述抽真空结构包括轴体和套设在所述轴体上的环体，所述抽真空结构中开设有第一抽真空通道，所述轴体能绕其轴线在所述环体内自转，以开启或关闭所述第一抽真空通道；所述承载部中开设有第二抽真空通道，所述第一抽真空通道和所述第二抽真空通道贯通，能对所述基片进行吸附固定。