[实用新型]一种加热装置

摘要

本实用新型提供一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，包括腔体结构和加热部件，加热部件设置在腔体结构内部，载具也用于设置在腔体结构内部，加热部件用于围设在载具外围，以对载具进行加热；腔体结构包括腔体和顶盖，腔体一端开口，顶盖用于盖合在腔体的开口上。该加热装置，通过设置腔体结构和加热部件，能够将放置晶片的载具加热至设定温度，相对于现有的通过预热水槽加热载具的方案，该加热装置能将载具加热至任意的设定温度，从而解决了水槽加热载具存在的加热温度受限的问题，同时，通过该加热装置加热后的载具的温度能够弥补载具转移过程中发生的热量损失，从而能保证载具移动到目标位置时的温度仍然可以满足工艺要求。

主权项

1.一种加热装置，用于将放置晶片的载具加热至设定温度，其特征在于，包括腔体结构和加热部件，所述加热部件设置在所述腔体结构内部，所述载具也用于设置在所述腔体结构内部，所述加热部件用于围设在所述载具外围，以对所述载具进行加热；所述腔体结构包括腔体和顶盖，所述腔体一端开口，所述顶盖用于盖合在所述腔体的开口上，以封闭所述腔体的开口。