[实用新型]一种角镜型迈克尔逊干涉仪

摘要

本实用新型属于傅立叶变换红外光谱仪技术领域，涉及一种角镜型迈克尔逊干涉仪，包括：光源组件、分束器、定镜、动镜、直线导轨、音圈马达、探测器、激光器组件和激光探测器；所述光源组件产生红外光源，经光路转换，发射至分束器，最后会聚至探测器的焦点上；所述激光器组件产生激光光束，经光路转换，发射至分束器，最后会聚至激光探测器的焦点上；音圈马达驱动直线导轨，带动动镜移动；所述动镜和固定镜为：角镜。本实用新型所述角镜型迈克尔逊干涉仪具有小型化，光学件寿命长，仪器整体寿命长、可靠性高和稳定性高的优点。

主权项

1.一种角镜型迈克尔逊干涉仪，其特征在于：包括：光源组件(19)、分束器组件(20)、定镜组件(18)、动镜组件(22)、直线导轨、音圈马达、外光路组件、探测器组件(23)、激光器组件(13)、密封窗组件一(21)、密封窗组件二(30)、透光窗片(26)、平面反射镜一(27)、平面反射镜二(28)、抛物镜一(6)和激光探测器(29)；所述分束器组件(20)包括：分束器(3)；所述定镜组件(18)包括：固定镜(5)；所述动镜组件(22)包括：动镜(2)；所述探测器组件(23)包括：探测器(7)；所述密封窗组件一(21)包括：密封窗片一(25)；所述密封窗组件二(30)包括：密封窗片二(31)；所述光源组件(19)包括：准直镜(8)和平面镜一(9)；所述光源组件(19)用于：产生红外光源(1)；所述激光器组件(13)用于：产生激光光束，并发射至透光窗片(26)；所述透光窗片(26)用于：透射激光光束；所述平面反射镜一(27)用于：接收透射过透光窗片(26)的激光光束，并将激光光束转向90°，反射至平面反射镜二(28)；所述平面反射镜二(28)用于：接收平面反射镜一(27)反射的激光光束，并将激光光束转向90°，反射至分束器(3)；所述准直镜(8)用于：将红外光源(1)反射，形成红外平行光，并将红外平行光发射至平面镜一(9)；所述平面镜一(9)用于：将发射至平面镜一(9)的红外平行光转向90度，再发射至分束器(3)；所述分束器(3)用于：①将发射至分束器的红外平行光分成两束，一束为红外反射光一，另一束为红外透射光，并将红外反射光一发射至固定镜(5)，将红外透射光发射至动镜(2)；所述固定镜(5)用于：将分束器(3)发射的红外反射光一再反射回分束器(3)，形成红外反射光二；所述动镜(2)用于：在动镜(2)移动的同时，将分束器(3)发射的红外透射光再反射回分束器(3)，形成红外反射光三；所述分束器(3)还用于：②接收固定镜(5)的红外反射光二与动镜(2)的红外反射光三，形成干涉光，并将干涉光透射过密封窗片一(25)，发射至外光路组件；③将发射至分束器的激光光束分成两束，一束为激光反射光一，另一束为激光透射光一，并将激光反射光一发射至固定镜(5)，将激光透射光一发射至动镜(2)；所述固定镜(5)还用于：将分束器(3)发射的激光反射光一再反射回分束器(3)，形成激光反射光二；所述动镜(2)用于：在动镜(2)移动的同时，将分束器(3)发射的激光透射光一再反射回分束器(3)，形成激光反射光三；所述分束器(3)还用于：④接收固定镜(5)的激光反射光二与动镜(2)的激光反射光三，并将固定镜(5)的激光反射光二反射，形成激光反射光四，再发射至激光探测器(29)；将动镜(2)的激光反射光三透射，形成激光透射光二，再发射至激光探测器(29)；所述激光探测器(29)用于：接收分束器(3)反射的激光反射光四和分束器(3)透射的激光透射光二；所述动镜(2)与直线导轨固定连接，所述直线导轨与音圈马达连接；所述音圈马达用于：驱动直线导轨移动；所述密封窗片一(25)用于：透射分束器(3)发射的干涉光；所述外光路组件用于：将透射过密封窗片一(25)的干涉光透射过密封窗片二(31)，再发射至抛物镜一(6)；所述抛物镜一(6)用于：将发射至抛物镜一(6)的干涉光会聚至探测器(7)的焦点上；所述动镜(2)和固定镜(5)为：角镜。