[实用新型]一种AIN粉专用高温旋转烧结炉有效

专利信息
申请号: 201822211651.1 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN209639511U 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 王玉洁 申请(专利权)人: 苏州楚翰真空科技有限公司
主分类号: F27B14/04 分类号: F27B14/04;F27B14/10;F27B14/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000江苏省苏州市相*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型公开了一种AIN粉专用高温旋转烧结炉,炉体设置在炉架上,旋转坩埚设置于炉体内,坩埚盖上设有排气孔,旋转坩埚另一侧设有进气孔,并与传动机构相连,步进电机驱动传动轴转动,传动轴靠近旋转坩埚一侧设有轴向插槽,旋转坩埚上设有石墨连接轴,该石墨连接轴内设有第一进气管,传动轴与石墨连接轴相连,第一进气管插装入轴向插槽内,传动轴和第一进气管上分别设有相匹配的第一径向通孔和第二径向通孔,第二进气管的出气口位于第一径向通孔一侧,炉体与真空机构连通,并与电控系统连接,本实用新型通过传动机构驱动旋转坩埚在转动条件下进行高温烧结,烧结效率高;传动机构直接与旋转坩埚相连,避免了通过滚轴传动造成的动能流失。
搜索关键词: 旋转坩埚 进气管 径向通孔 传动轴 连接轴 石墨 本实用新型 轴向插槽 炉体 步进电机驱动 传动轴转动 电控系统 高温烧结 驱动旋转 烧结效率 真空机构 专用高温 出气口 进气孔 排气孔 烧结炉 坩埚盖 动能 传动 滚轴 炉架 坩埚 装入 连通 匹配 转动 体内
【主权项】:
1.一种AIN粉专用高温旋转烧结炉,其特征在于,包括炉架(1)、炉体(2)、旋转坩埚(3)、传动机构(4)、真空机构(5)、气路系统和电控系统,所述炉体(2)设置在炉架(1)上,该炉体(2)为卧式桶状结构,其一侧具有炉门(22),所述旋转坩埚(3)可转动的设置于炉体(2)内,该旋转坩埚(3)具有桶状结构,其靠近炉门(22)的一侧设有坩埚盖(31),所述坩埚盖(31)上设有排气孔(32),所述旋转坩埚(3)上位于坩埚盖(31)的相对侧设有进气孔(33),该旋转坩埚(3)与传动机构(4)相连,所述传动机构(4)包括步进电机(41)、减速器(42)、传动链条(43)和传动轴(44),所述步进电机(41)设置在炉架(1)上,其输出端设有减速器(42),所述减速器(42)通过传动链条(43)驱动传动轴(44),所述传动轴(44)靠近旋转坩埚(3)的一侧设有轴向插槽,所述旋转坩埚(3)靠近传动轴(44)的一侧设有石墨连接轴(34),该石墨连接轴(34)内设有轴向贯穿其本体且与进气孔(33)相连通的第一进气管(35),所述传动轴(44)与石墨连接轴(34)相连,所述第一进气管(35)插装入轴向插槽内,所述传动轴(44)和第一进气管(35)上分别设有相匹配的第一径向通孔和第二径向通孔(36),所述气路系统上第二进气管(71)的出气口位于第一径向通孔的一侧用于向第一径向通孔内送气,所述炉体(2)与真空机构(5)连通,并与电控系统的控制柜(61)和配电柜(62)电气信号连接。/n
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