[实用新型]一种用于多晶长晶测试的装置有效
申请号: | 201822200318.0 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN209307513U | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
发明(设计)人: | 杨传伟;刘明权;路景刚 | 申请(专利权)人: | 镇江环太硅科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立;艾中兰 |
地址: | 212200 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开一种用于多晶长晶测试的装置,包括支架、电子容栅尺和连接块,所述支架由底座和垂直于底座的支撑板组成;所述底座上设置有定位孔,所述支撑板和电子容栅尺上设置有配套的固定孔,所述电子容栅尺的移动尺框和连接块上设置有配套的安装孔,所述连接块上设置有石英棒的固定安装孔。本实用新型结构简单,能准确测量长晶高度,提高测量精度和效率。 | ||
搜索关键词: | 电子容栅 底座 本实用新型 配套的 支撑板 多晶 支架 固定安装孔 测试 移动尺框 准确测量 安装孔 定位孔 固定孔 石英棒 测量 垂直 | ||
【主权项】:
1.一种用于多晶长晶测试的装置,其特征在于包括支架、电子容栅尺和连接块,所述支架由底座和垂直于底座的支撑板组成;所述底座上设置有定位孔,用于将测试装置固定于测试工位;所述支撑板和电子容栅尺上设置有配套的固定孔,用于将所述电子容栅尺固定于所述支撑板上;所述电子容栅尺的移动尺框和连接块上设置有配套的安装孔,用于将所述连接块固定于电子容栅尺的移动尺框上;所述连接块上设置有石英棒的固定安装孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于镇江环太硅科技有限公司,未经镇江环太硅科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201822200318.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:样品托
- 下一篇:轴向串动的电极组件及蓝宝石单晶炉