[实用新型]一种用于多晶长晶测试的装置有效

专利信息
申请号: 201822200318.0 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN209307513U 公开(公告)日: 2019-08-27
发明(设计)人: 杨传伟;刘明权;路景刚 申请(专利权)人: 镇江环太硅科技有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 任立;艾中兰
地址: 212200 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开一种用于多晶长晶测试的装置,包括支架、电子容栅尺和连接块,所述支架由底座和垂直于底座的支撑板组成;所述底座上设置有定位孔,所述支撑板和电子容栅尺上设置有配套的固定孔,所述电子容栅尺的移动尺框和连接块上设置有配套的安装孔,所述连接块上设置有石英棒的固定安装孔。本实用新型结构简单,能准确测量长晶高度,提高测量精度和效率。
搜索关键词: 电子容栅 底座 本实用新型 配套的 支撑板 多晶 支架 固定安装孔 测试 移动尺框 准确测量 安装孔 定位孔 固定孔 石英棒 测量 垂直
【主权项】:
1.一种用于多晶长晶测试的装置,其特征在于包括支架、电子容栅尺和连接块,所述支架由底座和垂直于底座的支撑板组成;所述底座上设置有定位孔,用于将测试装置固定于测试工位;所述支撑板和电子容栅尺上设置有配套的固定孔,用于将所述电子容栅尺固定于所述支撑板上;所述电子容栅尺的移动尺框和连接块上设置有配套的安装孔,用于将所述连接块固定于电子容栅尺的移动尺框上;所述连接块上设置有石英棒的固定安装孔。
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