[实用新型]一种用于多晶长晶测试的装置

说明书

本实用新型公开一种用于多晶长晶测试的装置，包括支架、电子容栅尺和连接块，所述支架由底座和垂直于底座的支撑板组成；所述底座上设置有定位孔，所述支撑板和电子容栅尺上设置有配套的固定孔，所述电子容栅尺的移动尺框和连接块上设置有配套的安装孔，所述连接块上设置有石英棒的固定安装孔。本实用新型结构简单，能准确测量长晶高度，提高测量精度和效率。

技术领域

本实用新型涉及多晶长晶测试领域，具体涉及一种用于测量长晶高度的量具。

背景技术

在多晶铸锭炉的生产过程中，需要了解和控制长晶速度，而长晶速度可以通过长晶高度来获得，因此需要对长晶高度进行测量。现有技术中，多晶长晶测量无专用量具，多采用手工操作的方式，手工测量误差大，导致测量结果不准确。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种用于多晶长晶测试的装置，保证测量的准确性。

本实用新型具体采用如下技术方案：

一种用于多晶长晶测试的装置，其特征在于包括支架、电子容栅尺和连接块，所述支架由底座和垂直于底座的支撑板组成；所述底座上设置有定位孔，用于将测试装置固定于测试工位；所述支撑板和电子容栅尺上设置有配套的固定孔，用于将所述电子容栅尺固定于所述支撑板上；所述电子容栅尺的移动尺框和连接块上设置有配套的安装孔，用于将所述连接块固定于电子容栅尺的移动尺框上；所述连接块上设置有石英棒的固定安装孔。

本实用新型结构简单，通过电子容栅尺自带的移动尺框来固定连接块，连接块固定石英棒，测试时，石英棒高度变化，使连接块高度变化，电子容栅尺可以直接显示出测量高度，通过前后两次测量结果的简单计算，就能准确测量长晶高度，提高了测量精度和效率。

附图说明

图1是长晶测量装置结构示意图；

图2是底座和支撑板示意图；

图3是电子容栅尺和支撑板安装示意图；

图4是移动尺框结构示意图；

图5是连接螺杆结构示意图；

图6是连接块结构示意图；

图7是连接块及石英棒安装示意图。

具体实施方式

如图1-3所示，本实用新型的用于多晶长晶测试的装置主要包括三部分：支架1、电子容栅尺2和连接块3。支架1采用5mm厚的钢板制成，由底座1-1和支撑板1-2组成，底座1-1平行放置，支撑板1-2垂直于底座1-2。支撑板1-2为宽20cm，高为50cm的方形板，支撑板和电子容栅尺上配套设置了三个固定孔2-2，电子容栅尺2用与固定孔匹配的螺钉固定在支撑板上。电子容栅尺2也垂直于底座1-1。底座1-1为上底长15cm，下底长20cm，高为10cm的梯形底座，底座1-1的左右两端各有一个直径为12mm的定位孔，定位孔用于和炉腔上原有螺母配合，将整个装置固定于长晶测试工位中。

如图4所示，电子容栅尺2上的移动尺框2-1随容栅尺导轨2-3上下滑动，移动尺框2-1的前端和连接块上设置有配套的安装孔2-4，用于固定安装连接块，使连接块可以随移动尺框上下滑动。如图5所示，连接块3由具有一定厚度的钢板制成（本实施例为5mm），其平面形状可以是本实施例中的拱门形状，也可以是矩形等其他形状。连接块两端均设有安装孔，一端通过连接螺杆4固定安装到电子容栅尺2的移动尺框2-1上，另一端用于固定长晶测试的石英棒5。如图6、7所示，连接螺杆4两头配有螺纹，一头与连接块3连接，一头与移动尺框2-1上的安装孔连接。使用时将石英棒一头插在连接块3的石英棒固定孔中，在连接块3两头用扎带6固定，并剪去多余部分。然后将石英棒另一头通过炉顶测量工位中专用的测量孔插入到炉体中。

测试方法：

当炉内固体完全融化成液体后需测量空测高度，具体方法为：右手握住石英棒缓慢向下移动（石英棒为易碎品，操作时：1、手握石英棒时手掌需均衡用力，2、石英棒向下移动时需缓慢且匀速），当石英棒触碰到坩埚底部，容栅尺移动尺框上显示屏的读数为空测读数。当DSS系统进入长晶阶段后，熔体的底部会生成固体。若测量长晶第一个小时的晶体生长高度，则右手握住石英棒缓慢向下移动（要领同上），当石英棒触碰到底部固体，容栅尺移动尺框上显示屏的读数为长晶一个小时的测量读数，此时的长晶高度=长晶一个小时的测量读数-空测读数。若要测量长晶第二个小时的长晶高度，重复以上动作即可。