[实用新型]一种碎片清理装置有效
| 申请号： | 201822197769.3 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209597800U | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 曹琨;袁中存 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 224431 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及管式PECVD炉管的清理技术领域，公开了一种用于管式PECVD炉管的碎片清理装置，包括纵长的支撑件、刮板、毛刷及第一驱动件，其中，所述刮板与所述支撑件的端部连接；所述毛刷与所述支撑件的靠近所述刮板的端部转动连接；所述第一驱动件与所述毛刷传动连接。利用刮板可以清理PECVD炉管内较大的碎片，自动旋转的毛刷可以将PECVD炉管内细碎的碎片清扫出去，从而实现了快速、高效并彻底地去除PECVD炉管内的硅片碎片的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 炉管 刮板 毛刷 支撑件 碎片清理 驱动件 管式 本实用新型 传动连接 端部连接 硅片碎片 转动连接 自动旋转 细碎 去除 纵长 清扫 | ||
【主权项】：
1.一种碎片清理装置，其特征在于，包括纵长的支撑件(10)、刮板(20)、毛刷(30)及第一驱动件(40)，其中：所述刮板(20)与所述支撑件(10)的端部连接；所述毛刷(30)与所述支撑件(10)的靠近所述刮板(20)的端部转动连接；所述第一驱动件(40)与所述毛刷(30)传动连接。
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