[实用新型]一种能够改变磁场大小的阴极源有效
| 申请号： | 201822197605.0 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209292466U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;邓永琪;梁海洋 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了解决永磁场带来的靶材离化后离子的运动轨迹就是固定的，是无法调节的问题，本实用新型提出一种能够改变磁场大小的阴极源，其包括：靶材1、线圈2、可变电源3，其特征在于：靶材1的表面设有线圈2，线圈2的两个自由端分别接入可变电源3的正极和负极。其通过用电磁场替代传统的磁场，并通过增加可变电阻，来改变电源电路中电流的大小，从而改变线圈中电流的大小，最终实现了电磁场的磁场强度的调节。采用这种能够调节电流大小的电磁场，可以根据实际需求调节电磁场的强度，使得阴极源上的靶材在离化后能够实时根据调节好的运动轨迹沉积在基材表面。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁场 靶材 磁场 阴极源 可变电源 运动轨迹 离化 正极 本实用新型 负极 电源电路 基材表面 可变电阻 实际需求 传统的 固定的 永磁场 自由端 沉积 离子 替代 | ||
【主权项】：
1.一种能够改变磁场大小的阴极源，其包括：靶材(1)、线圈(2)、可变电源(3)，其特征在于：靶材(1)的表面设有线圈(2)，线圈(2)的两个自由端分别接入可变电源(3)的正极和负极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州星蓝纳米技术有限公司，未经苏州星蓝纳米技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822197605.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种阴极电弧源的机箱水冷却系统
- 下一篇：用于在基板上沉积层的装置
- 同类专利
- 专利分类
