[实用新型]激光平行度检测仪有效
| 申请号： | 201822196614.8 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209246966U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 张曙光 | 申请（专利权）人： | 茂莱(南京)仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李倩 |
| 地址： | 211102 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种激光平行度检测仪，包括激光干涉系统和工作台，所述激光干涉系统包括检测光路和参考光路，所述工作台包括用于承载被测件的移动平台和用于反射激光的平行平板玻璃；所述平行平板玻璃在检测光路中对激光反射；还包括用于对检测光路和参考光路的图像进行采集和显示的采集显示装置。本实用新型利用激光干涉原理检测零件平行度的装置，以激光的半波长为计量单位，对被测面进行非接触扫描。检测的精度达到亚微米级。提高了检测的精度，可靠性和效率。能够满足高精度零件平行度的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 检测光 激光干涉系统 平行度检测仪 平行平板玻璃 本实用新型 激光 参考光路 平行度 工作台 检测 采集显示装置 非接触扫描 高精度零件 反射激光 激光反射 激光干涉 计量单位 检测零件 亚微米级 移动平台 半波长 被测件 被测面 承载 采集 图像 | ||
【主权项】：
1.激光平行度检测仪，其特征在于：包括激光干涉系统和工作台，所述激光干涉系统包括检测光路和参考光路，所述工作台包括用于承载被测件的移动平台和用于反射激光的平行平板玻璃；所述平行平板玻璃在检测光路中对激光反射；还包括用于对检测光路和参考光路的图像进行采集和显示的采集显示装置。
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