[实用新型]用于清洗过滤器的自动清洗设备及其控制系统有效
申请号: | 201822192000.2 | 申请日: | 2018-12-25 |
公开(公告)号: | CN209596732U | 公开(公告)日: | 2019-11-08 |
发明(设计)人: | 蒲健;朱建海;陈军;姚志伟;李本功 | 申请(专利权)人: | 聚灿光电科技股份有限公司 |
主分类号: | B01D41/00 | 分类号: | B01D41/00 |
代理公司: | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人: | 姚锦程 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型揭示了一种用于清洗过滤器的自动清洗设备及控制系统,所述过滤器用于MOCVD,所述自动清洗设备包括容纳碱液的碱液槽、容纳清水的清水槽和循环泵,所述自动清洗设备具有两个工作状态,第一工作状态时,所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内,并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内;第二工作状态时,所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内,并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。该自动清洗设备更加环保、安全且效率较高。 | ||
搜索关键词: | 自动清洗设备 过滤器 碱液槽 循环泵 清洗过滤器 控制系统 清水槽 碱液 容纳 本实用新型 碱液灌 水循环 水灌 清水 环保 安全 | ||
【主权项】:
1.一种用于清洗过滤器的自动清洗设备,所述过滤器用于MOCVD,其特征在于;所述自动清洗设备包括:容纳碱液的碱液槽;容纳清水的清水槽;循环泵,所述自动清洗设备具有两个工作状态,第一工作状态时,所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内,并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内;第二工作状态时,所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内,并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。
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