[实用新型]用于清洗过滤器的自动清洗设备及其控制系统

权利要求书

1.一种用于清洗过滤器的自动清洗设备，所述过滤器用于MOCVD，其特征在于；所述自动清洗设备包括：

容纳碱液的碱液槽；

容纳清水的清水槽；

循环泵，所述自动清洗设备具有两个工作状态，第一工作状态时，所述循环泵将所述碱液槽内的碱液灌入所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的碱液循环到所述碱液槽内；第二工作状态时，所述循环泵将所述清水槽内的水灌入到所述过滤器内，并将经过所述过滤器后的水循环到所述碱液槽内。

2.根据权利要求1所述的自动清洗设备，其特征在于，所述自动清洗设备还包括接入所述过滤器的加热系统，当所述过滤器被碱液和水清洗过后，所述加热系统提供用于吹扫所述过滤器的加热压缩空气。

3.根据权利要求2所述的自动清洗设备，其特征在于，所述碱液和加热压缩空气可被择一地从同一个入口进入到所述过滤器。

4.根据权利要求1所述的自动清洗设备，其特征在于，所述碱液槽中设有滤芯。

5.根据权利要求1所述的自动清洗设备，其特征在于，所述自动清洗设备还包括排水容器，所述循环泵可选择地能将所述碱液槽的碱液排出到所述排水容器中。

6.根据权利要求1所述的自动清洗设备的控制系统，其特征在于；所述控制系统包括控制单元、与所述控制单元相连接的复数个控制阀，所述复数个控制阀分别被控制于不同的模式，以使所述自动清洗设备处于第一工作状态或第二工作状态。

7.根据权利要求6所述的控制系统，其特征在于，所述控制系统还包括设于所述碱液槽并与所述控制单元电连接的液位感应器。

8.根据权利要求6所述的控制系统，其特征在于，所述控制系统还包括设置于所述碱液槽内的加热棒和温度传感器，所述加热棒和温度传感器均与所述控制单元电连接，以将所述碱液槽内碱液的温度控制于20℃～80℃。