[实用新型]多晶粒光学检测设备有效
| 申请号： | 201822181035.6 | 申请日： | 2018-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN209387536U | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 彭柏翰;林宏毅 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅;王燕秋 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶粒光学检测设备，包含有一平台、至少二探针装置组、至少二静电放电前置盒、以及设置于高于各探针装置的位置的一调针视觉模块和一收光模块。各探针装置组包含有二探针装置，各探针装置设于平台。各静电放电前置盒的设置位置均高于平台，且至少一静电放电前置盒至少部分位于一探针装置的正上方。由此，多晶粒光学检测设备的配置节省空间，且接设于静电放电前置盒与探针装置之间的线路短，因此讯号传输质量良好、设备配置简洁，并可提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 探针装置 静电放电 前置盒 光学检测设备 晶粒 本实用新型 节省空间 设备配置 设置位置 视觉模块 收光模块 讯号传输 检测 配置 | ||
【主权项】：
1.一种多晶粒光学检测设备，其特征在于包含有：一平台；至少二探针装置组，各所述探针装置组包含有二探针装置，各所述探针装置设于所述平台；至少二静电放电前置盒，各所述静电放电前置盒的设置位置皆高于所述平台，且至少一所述静电放电前置盒至少部分位于一所述探针装置的正上方；一调针视觉模块及一收光模块，设置于高于各所述探针装置的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旺矽科技股份有限公司，未经旺矽科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822181035.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
