[实用新型]一种芯片生产用超声波清洁装置

摘要

本实用新型涉及芯片生产的技术领域，特别是涉及一种芯片生产用超声波清洁装置，其方便后续对粘有清洁液的芯片进行清洁；并且方便对芯片进行取放，提高使用性；且可加快清洁后芯片表面液体的干燥速度，提高使用可靠性；包括外壳、内胆、两组超声波发射器、挡盖、输入管、输出管和四组支座，内胆底端左半区域和右半区域分别与两组超声波发射器的输出端连接；还包括进水管和单向阀，进水管连通设置在输入管上；还包括调节架、支撑网板和网盒，网盒放置在支撑网板顶端；还包括放置箱、风扇、电加热网和出风管，风扇和电加热网均设置在放置箱内，且风扇位于电加热网下方，放置箱底端设置有通风口。

主权项

1.一种芯片生产用超声波清洁装置，包括外壳(1)、内胆(2)、两组超声波发射器(3)、挡盖(4)、输入管(5)、输出管(6)和四组支座(7)，四组支座(7)分别设置在外壳(1)底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，两组超声波发射器(3)分别设置在外壳(1)内底壁左半区域和右半区域上，内胆(2)设置在外壳(1)内部，且内胆(2)底端左半区域和右半区域分别与两组超声波发射器(3)的输出端连接，外壳(1)顶端设置有取放口，挡盖(4)设置在取放口上，输入管(5)和输出管(6)分别设置在外壳(1)左端上侧和右端下侧，并在输入管(5)和输出管(6)上均设置有控制阀(8)，且输入管(5)输出端和输出管(6)输入端均位于内胆(2)内部；其特征在于，还包括进水管(9)和单向阀(10)，所述进水管(9)连通设置在输入管(5)上，且进水管(9)输出端位于输入管(5)控制阀(8)右侧，所述单向阀(10)设置在进水管(9)上；还包括调节架、支撑网板(11)和网盒(12)，所述调节架设置在外壳(1)内底壁上，支撑网板(11)位于内胆(2)内部，且调节架顶端穿过内胆(2)并与支撑网板(11)底端连接，所述网盒(12)放置在支撑网板(11)顶端；还包括放置箱(13)、风扇、电加热网(14)和出风管(15)，所述放置箱(13)设置在外壳(1)右端上侧，放置箱(13)内设置有放置腔，所述出风管(15)连通设置在放置箱(13)左端上侧，且出风管(15)输出端穿过外壳(1)并位于内胆(2)内侧，所述风扇和电加热网(14)均设置在放置箱(13)内，且风扇位于电加热网(14)下方，所述放置箱(13)底端设置有通风口。