[实用新型]压力传感器芯片及设置有该芯片的多功能传感器有效

专利信息
申请号: 201822150734.4 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN209400124U 公开(公告)日: 2019-09-17
发明(设计)人: 端木鲁玉;方华斌;付博;张硕 申请(专利权)人: 歌尔科技有限公司
主分类号: G01L11/00 分类号: G01L11/00;G01L19/00
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 王迎;袁文婷
地址: 266100 山东省青岛*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型提供一种压力传感器芯片及设置有该芯片的多功能传感器,其中压力传感器芯片包括衬底以及通过连接臂悬设在衬底内的感知部件;感知部件包括结构背极以及设置在结构背极远离衬底一侧的感知振膜,感知振膜与结构背极之间形成封闭腔室;感知部件与衬底之间填充有包裹感知部件的防水胶。利用上述实用新型不仅能够降低外部应力对感知部件的干扰,也能够起到防水、防尘的作用,产品测量精度高、使用寿命长。
搜索关键词: 感知部件 衬底 压力传感器芯片 背极 多功能传感器 振膜 感知 芯片 本实用新型 产品测量 封闭腔室 使用寿命 外部应力 防尘 防水胶 连接臂 填充 防水
【主权项】:
1.一种压力传感器芯片,其特征在于,包括衬底以及通过连接臂悬设在所述衬底内的感知部件;其中,所述感知部件包括结构背极以及设置在所述结构背极远离所述衬底一侧的感知振膜,所述感知振膜与所述结构背极之间形成封闭腔室;在所述感知部件与所述衬底之间填充有包裹所述感知部件的防水胶。
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  • 一种用于污水管网节点的水压监测系统-201920262166.9
  • 郝丽丽 - 郝丽丽
  • 2019-03-01 - 2019-08-20 - G01L11/00
  • 本实用新型提供了一种用于污水管网节点的水压监测系统,解决了局部超负荷运转状态下缺乏对整体污水管网系统监测的措施的问题。本实用新型包括市政污水管网总调控中心、区域污水管网水压信号处理中心和安装在污水管网的节点处的的节点监控装置;所述节点监控装置包括用于监控分级管路内的水压的水压检测仪器,节点监控装置还包括防水密封壳体、水压检测仪器、水量调节装置和控制器,控制器与水量调节装置和水压检测仪器电性连接,水压检测仪器、水量调节装置和控制器均设在防水密封壳体内;控制器与区域污水管网水压信号处理中心的区域处理器电性连接,区域处理器与市政污水管网总调控中心的中央处理器电性连接。
  • 无线远传报警数显压力计-201822012258.X
  • 王柳森 - 王柳森
  • 2018-11-30 - 2019-08-16 - G01L11/00
  • 本实用新型公开了无线远传报警数显压力计,包括检测表箱、操作面板、NB‑iot无线通讯模块和微处理器,所述检测表箱一侧壁上设置有天线,所述检测表箱另一侧壁上设置有表盖,所述表盖上设置有所述操作面板,所述操作面板上设置有压力显示屏幕,所述压力显示屏幕一侧设置有电量显示屏幕。有益效果在于:本实用新型中的压力传感器采用高品质压力传感器芯,具有精度高、抗腐蚀性、抗震动、温漂小、稳定性好等优点,使用低功耗微处理技术,采用最新进低功耗宽覆盖NB‑iot无线通讯模块定时发送压力、电量及报警信息,智能监控各种压力消防管网的压力,能耗低,同时采用锂电池长期供电,无需外接电源,安装使用方便。
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