[实用新型]一种用于真空镀膜的气动转板阀有效
| 申请号： | 201822136538.1 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209622063U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 胡超川;朱磊;张继凡 | 申请（专利权）人： | 安徽立光电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/18 | 分类号： | F16K1/18;F16K31/122;F16K31/54 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 王荷英 |
| 地址： | 239200 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于真空镀膜的气动转板阀，包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器，阀板设置在真空箱体的通道口处，设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口，阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连接，转动轴体设置在阀板的一侧，两套气动驱动装置分别安装于真空箱体的侧壁上下两端，两套气动驱动装置与转动轴体的上下端可转动连接，电磁换向阀通过输气管道连接每套气动驱动装置的气源，光电探测器设置在真空箱体壁上，光电探测器的感应探头对准真空箱体内感应临近阀板的工件车，光电探测器与电磁换向阀电连接。本转板阀的结构简单，可自动开关且密封性能佳。 | ||
| 搜索关键词： | 阀板 真空箱体 气动驱动装置 光电探测器 转动轴体 电磁换向阀 两套 气动转板阀 牵引装置 真空镀膜 本实用新型 可转动连接 感应探头 密封性能 上下两端 输气管道 通道口处 自动开关 闭合部 电连接 工件车 通道口 转板阀 侧壁 气源 对准 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于：包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器，阀板设置在真空箱体的通道口处，设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口，阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连接，转动轴体设置在阀板的一侧，两套气动驱动装置分别安装于真空箱体的侧壁上下两端，两套气动驱动装置与转动轴体的上下端可转动连接，电磁换向阀通过输气管道连接每套气动驱动装置的气源，光电探测器设置在真空箱体壁上，光电探测器的感应探头对准真空箱体内部来感应临近阀板的工件车，光电探测器与电磁换向阀电连接。
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