[实用新型]一种用于真空镀膜的气动转板阀

权利要求书

1.一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于：包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器，阀板设置在真空箱体的通道口处，设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口，阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连接，转动轴体设置在阀板的一侧，两套气动驱动装置分别安装于真空箱体的侧壁上下两端，两套气动驱动装置与转动轴体的上下端可转动连接，电磁换向阀通过输气管道连接每套气动驱动装置的气源，光电探测器设置在真空箱体壁上，光电探测器的感应探头对准真空箱体内部来感应临近阀板的工件车，光电探测器与电磁换向阀电连接。

2.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，每套气动驱动装置包括驱动气缸、齿轮杆、带轴承齿轮、高压气源，齿轮杆的一端连接驱动气缸的活塞，另一端端部设有齿条，齿轮杆通过齿条与带轴承齿轮相啮合连接，带轴承齿轮中设有凹槽，转动轴体卡设于凹槽中，电磁换向阀通过输气管道分别连接高压气源和驱动气缸的气口。

3.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述光电探测器包括光电感应器和微控制器，光电感应器连接微控制器的输入端，微控制器的输出端连接电磁换向阀，光电感应器对准真空箱体的通道口。

4.如权利要求3所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述光电感应器采用型号为欧姆龙E3FA-TN11的光电传感器。

5.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述电磁换向阀采用两位五通阀，所述输气管道包括一根进气管和四根出气管，进气管与出气管分别连接至电磁换向阀的进气口和两个出气口，进气管连接高压气源，电磁换向阀的另外两个出气口通过两根出气管连接驱动气缸的气口。

6.如权利要求1-5任一项所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述阀板上位于真空箱体的通道口的闭合部设有密封圈。

7.如权利要求6所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述阀板内侧的闭合部设有一圈凹槽，密封圈内镶嵌于凹槽中。

8.如权利要求7所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述牵引装置采用4-6根钢构连接杆，所有钢构连接杆均沿竖直方向均匀分布，钢构连接杆的一端焊接在阀板的外侧，另一端焊接在转动轴体上。

9.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述齿条的数量为一对，并排设置于齿轮杆的端部，在齿轮杆的一侧设有与转动轴体相平行的竖杆，其中一个齿条位于转动轴体侧，与转动轴体上的带轴承齿轮相啮合，另一个齿条位于竖杆侧，在竖杆上固定套接有齿轮，齿轮能够与位于竖杆侧的齿条相啮合转动。