[实用新型]一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置

摘要

本实用新型公开了一种方便安装或更换的真空镀膜扩散泵加热装置，包括固定壳体，所述固定壳体上端设置有加热电阻盘，所述加热电阻盘一侧设置有锁紧机构，且加热电阻盘通过锁紧机构与固定壳体固接，所述加热电阻盘上方设置有DP真空镀膜扩散泵，所述固定壳体下端设置有基座，所述基座通过螺栓与地面固定，且固定壳体内部设置有托顶机构；其中锁紧机构包括扣锁部和锁紧部，所述扣锁部固接在加热电阻盘上端，所述锁紧部固接在固定壳体上端。本实用新型通过在加热电阻盘上设置新的锁紧机构，锁紧机构为门栓式夹钳，将电阻盘固定在固定壳体侧边，无需降温，工作人员带上高温手套即可操作，使维护时间大大缩短，使用寿命大大提高。