[实用新型]一种镀膜装置有效
申请号: | 201822087416.8 | 申请日: | 2018-12-11 |
公开(公告)号: | CN209759583U | 公开(公告)日: | 2019-12-10 |
发明(设计)人: | 张升飞;惠述伟;朱海安 | 申请(专利权)人: | 华夏易能(广东)新能源科技有限公司 |
主分类号: | C23C18/16 | 分类号: | C23C18/16;C03C17/22;H01L31/18 |
代理公司: | 11662 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人: | 孟德栋 |
地址: | 517000 广东省河源市高新技术产业*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种镀膜装置,涉及工业生产技术领域。包括:反应池、第一加热回路和第二加热回路,反应池上设有第一回流口和第二回流口,第一加热回路的入液端与第一回流口连通,第一加热回路的出液端连通至反应池的底部,第二加热回路的入液端与第二回流口连通,第二加热回路的出液端连通至反应池的顶部,第一加热回路和第二加热回路均能够对液体进行循环和加热。本实用新型提供的镀膜装置,第一加热回路和第二加热回路分别从底部和顶部同时将加热后的镀膜溶液注入反应池内,使反应池内的镀膜溶液在保持循环的同时,也能够实现上下同时对热镀膜溶液进行的双向对流注入,使反应池内的镀膜溶液的温度能够均匀分布。 | ||
搜索关键词: | 加热回路 反应池 镀膜溶液 回流口 连通 本实用新型 镀膜装置 出液端 入液端 加热 工业生产技术 双向对流 | ||
【主权项】:
1.一种镀膜装置,其特征在于,包括:反应池、第一加热回路和第二加热回路,所述反应池上设有第一回流口和第二回流口,所述第一加热回路的入液端与所述第一回流口连通,所述第一加热回路的出液端连通至所述反应池的底部,所述第二加热回路的入液端与所述第二回流口连通,所述第二加热回路的出液端连通至所述反应池的顶部,所述第一加热回路和所述第二加热回路均能够对液体进行循环和加热。/n
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀,即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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