[实用新型]一种镀膜装置

说明书

本实用新型提供了一种镀膜装置，涉及工业生产技术领域。包括：反应池、第一加热回路和第二加热回路，反应池上设有第一回流口和第二回流口，第一加热回路的入液端与第一回流口连通，第一加热回路的出液端连通至反应池的底部，第二加热回路的入液端与第二回流口连通，第二加热回路的出液端连通至反应池的顶部，第一加热回路和第二加热回路均能够对液体进行循环和加热。本实用新型提供的镀膜装置，第一加热回路和第二加热回路分别从底部和顶部同时将加热后的镀膜溶液注入反应池内，使反应池内的镀膜溶液在保持循环的同时，也能够实现上下同时对热镀膜溶液进行的双向对流注入，使反应池内的镀膜溶液的温度能够均匀分布。

技术领域

本实用新型涉及工业生产领域，具体而言，涉及一种镀膜装置。

背景技术

太阳能电池在生产时需要对玻璃衬底进行镀膜。一般是将硫脲、硫酸镉、氨水混合在反应池内，通过控制混合溶液的浓度和温度，以使混合溶液在玻璃衬底上沉积一层均匀、致密的CdS薄膜。玻璃衬底都为片状，且面积较大，为了充分利用反应池内容纳腔的空间，在进行镀膜时玻璃衬底都是竖直放置在反应池内的。但由于玻璃衬底面积较大，故而反应池的高度都会很高。现有的反应池都是从下部对池内溶液进行加热，很容易会导致反应池上部的溶液温度较低，使反应池内溶液温度分布不均匀，导致玻璃衬底外形成的膜层厚度不均匀，镀膜质量差。现有的解决方法是将溶液的浓度降低并延长镀膜时间来克服膜层厚度不均匀的问题，但这样也会导致镀膜周期长，整体效率降低。

实用新型内容

本实用新型提供了一种镀膜装置，旨在改善反应池内溶液温度分布不均匀，导致玻璃衬底外形成的膜层厚度不均匀的问题。

本实用新型是这样实现的：

一种镀膜装置，包括：反应池、第一加热回路和第二加热回路，所述反应池上设有第一回流口和第二回流口，所述第一加热回路的入液端与所述第一回流口连通，所述第一加热回路的出液端连通至所述反应池的底部，所述第二加热回路的入液端与所述第二回流口连通，所述第二加热回路的出液端连通至所述反应池的顶部，所述第一加热回路和所述第二加热回路均能够对液体进行循环和加热。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述第一加热回路包括第一加热器和第一循环泵，所述第一循环泵一端与所述第一回流口连通，所述第一循环泵另一端与所述第一加热器连通，所述第一加热器的出液端为所述第一加热回路的出液端。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述第一加热器上设有第一温控器，所述第一温控器用于控制所述第一加热器输出液体的温度。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述第一循环泵和所述第一回流口之间设有第一温度传感器。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述第二加热回路包括第二加热器和第二循环泵，所述第二循环泵一端与所述第二回流口连通，所述第二循环泵另一端与所述第二加热器连通，所述第二加热器的出液端为所述第二加热回路的出液端。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述第二加热器上设有第二温控器，所述第二温控器用于控制所述第二加热器输出液体的温度。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述第二循环泵和所述第二回流口之间设有第二温度传感器。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述反应池的底面设有多个第一注液口，多个所述注液口均与所述第一加热回路的出液端连接。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述反应池上方架设有导流管，所述导流管朝向所述反应池一侧设有多个第二注液口，所述导流管的入液端与所述第二加热回路的出液端连接。

进一步地，在本实用新型较佳的实施例中，所述反应池的侧壁包括在竖直方向上由上至下依次连接的第一段、第二段和第三段，所述第一段、所述第二段和所述第三段在竖直方向上的高度相等，所述第一回流口和所述第二回流口均设置于所述第二段上。