[实用新型]研磨头清洗装置有效
| 申请号： | 201822081238.8 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN209425253U | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 黄汇丰;蒋德念;赵振伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 栾美洁 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨头清洗装置，包括支架、清洗刷、喷水杆、伸缩驱动装置和旋转驱动装置，所述喷水杆与清洗刷安装在支架上，所述支架在伸缩驱动装置的带动下沿水平方向运动，所述喷水杆上设有朝向研磨头顶面和侧面的外周侧喷嘴，所述旋转驱动装置带动研磨头旋转或者带动支架旋转。本实用新型的清洗装置对研磨头进行清洗时，研磨头进行旋转或者清洗刷和喷水杆进行旋转，清洗刷和喷水杆在伸缩驱动装置的控制下移动至研磨头的外周侧，喷水杆上的外周侧喷嘴向研磨头上方及侧面喷洒去离子水，同时清洗刷对研磨头的上方及侧面进行全方位洗刷，从而将研磨头上方及侧面的研磨液及研磨残留物清除。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨头 喷水杆 清洗刷 支架 伸缩驱动装置 清洗装置 研磨 外周 侧面 旋转驱动装置 本实用新型 侧喷嘴 水平方向运动 研磨残留物 去离子水 头顶面 研磨液 洗刷 下沿 喷洒 清洗 移动 | ||
【主权项】：
1.一种研磨头清洗装置，其特征在于，包括支架、清洗刷、喷水杆、伸缩驱动装置和旋转驱动装置，所述喷水杆与清洗刷安装在支架上，所述支架在伸缩驱动装置的带动下沿水平方向运动，所述喷水杆上设有朝向研磨头顶面和侧面的外周侧喷嘴，所述旋转驱动装置带动研磨头旋转或者带动支架旋转。
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